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氮化硅是在 19 世紀中葉被發現的,但由于其共價鍵合性質,因此并不易于制造。這最初導致了兩種類型的氮化硅的發展,即反應鍵合氮化硅 (RBSN) 和熱壓氮化硅 (HPSN)。隨后,自 1970 年代以來又開發了兩種類型:燒結氮化硅 (SSN),包括賽隆,以及燒結反應鍵合氮化硅 (SRBSN)。
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